電気光学装置の製造方法及び電気光学装置用の駆動基板の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：逢坂宏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998295443
Publication number (International publication number)：2000122090
Application date： Oct. 16, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】高いスイッチング特性と低リーク電流を有するLDD構造を有するnMOS又はpMOSTFTの表示部と、高い駆動能力のCMOS又はn又はpMOSTFT又はこれらの混在からなる周辺回路とを一体化した構成を可能とし、高画質、高精細、狭額縁、高効率、大画面化の表示パネルを実現することができ、しかも歪点が比較的低い大型のガラス基板であっても使用でき、生産性が高く、高価な製造設備が不要であってコストダウンが可能となり、更に、しきい値調整が容易であって低抵抗化による高速動作を可能にすること。【解決手段】基板1に形成した結晶性サファイア膜50をシードにしてシリコンを溶解した低融点金属の溶融液層6からヘテロエピタキシャル成長により単結晶シリコン層7を形成し、この単結晶シリコン層7を表示部-周辺駆動回路一体型のLCDなどの電気光学装置のボトムゲート型MOSTFTに用いる。

Claim (excerpt)：

画素電極が配された表示部と、この表示部の周辺に配された周辺駆動回路部とを第1の基板上に有し、この第1の基板と第2の基板との間に所定の光学材料を介在させてなる電気光学装置の製造方法において、前記第1の基板の一方の面上にゲート電極とゲート絶縁膜とからなるゲート部を形成する工程と、前記第1の基板の前記一方の面上に、単結晶シリコンと格子整合の良い物質層を形成する工程と、この物質層及び前記ゲート部を含む前記第1の基板上にシリコンを含有する低融点金属の溶融液層を形成する工程と、次いで冷却処理(望ましくは徐冷処理)によって前記溶融液層の前記シリコンを前記物質層をシードとしてヘテロエピタキシャル成長させ、単結晶シリコン層を析出させる工程と、この単結晶シリコン層に所定の処理を施してチャンネル領域、ソース領域及びドレイン領域を形成する工程と、前記チャンネル領域の下部に前記ゲート部を有し、前記周辺駆動回路部の少なくとも一部を構成するボトムゲート型の第1の薄膜トランジスタを形成する工程とを有することを特徴とする、電気光学装置の製造方法。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/786 , H01L 21/336

FI (4)：

G02F 1/136 500 , H01L 29/78 612 B , H01L 29/78 616 L , H01L 29/78 626 C

F-Term (113)：

2H092GA59 , 2H092HA28 , 2H092JA25 , 2H092JA26 , 2H092JA33 , 2H092JA35 , 2H092JA36 , 2H092JA38 , 2H092JA39 , 2H092JB07 , 2H092JB43 , 2H092JB52 , 2H092JB57 , 2H092JB58 , 2H092KA03 , 2H092KA04 , 2H092KA05 , 2H092KA10 , 2H092KA12 , 2H092KA18 , 2H092KA19 , 2H092KB13 , 2H092KB24 , 2H092MA02 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA08 , 2H092MA10 , 2H092MA15 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA24 , 2H092MA27 , 2H092MA29 , 2H092MA37 , 2H092MA41 , 2H092NA07 , 2H092NA19 , 2H092NA22 , 2H092NA25 , 2H092NA27 , 2H092PA01 , 2H092PA06 , 2H092PA08 , 2H092PA09 , 2H092PA13 , 2H092QA07 , 2H092QA08 , 2H092QA10 , 2H092QA11 , 2H092QA13 , 2H092QA14 , 2H092QA15 , 5F110AA06 , 5F110AA08 , 5F110AA09 , 5F110AA18 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110CC08 , 5F110DD01 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD04 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD17 , 5F110DD21 , 5F110EE06 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE30 , 5F110EE44 , 5F110FF02 , 5F110FF03 , 5F110FF09 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG13 , 5F110GG32 , 5F110GG34 , 5F110GG52 , 5F110HJ01 , 5F110HJ04 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL03 , 5F110HL06 , 5F110HM15 , 5F110HM18 , 5F110NN03 , 5F110NN04 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN25 , 5F110NN27 , 5F110NN35 , 5F110NN44 , 5F110NN46 , 5F110NN47 , 5F110NN54 , 5F110NN58 , 5F110PP02 , 5F110PP10 , 5F110PP23 , 5F110PP24 , 5F110PP34 , 5F110QQ09 , 5F110QQ11 , 5F110QQ19 , 5F110QQ28

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