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J-GLOBAL ID：200903050604504905

耐食性硬質多層膜の製造方法

Inventor： 千葉 祐二
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 押田 良久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992078406
Publication number (International publication number)：1993239620
Application date： Feb. 28, 1992
Publication date： Sep. 17, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被膜中のピンホールを減少させて耐食性を向上し得る物理蒸着法による硬質被膜の製造方法を提供すること。【構成】 物理蒸着法により金属表面にTi、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrの窒化物、炭化物または炭窒化物のうちのいずれか1種類の硬質被膜を形成する方法において、前記硬質被膜製膜途中において、製膜に用いられているTi、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrの金属を前記硬質被膜上に真空蒸着し、前記硬質被膜と金属層との多層構造とし、最外層を前記硬質被膜とする製品を得た。JIS H 8663によるフェロキシル試験を行ない、腐食孔密度によって耐食性を評価した結果、硬質層を介在させなかった場合に較べて大幅に改善されていることが認められた。

Claim (excerpt)：

物理蒸着法により金属表面にTi、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrの窒化物、炭化物または炭窒化物のうちのいずれか1種類の硬質被膜を形成する方法において、前記硬質被膜製膜途中において、製膜に用いられているTi、Zr、Hf、V、Nb、TaまたはCrの金属を前記硬質被膜上に真空蒸着し、前記硬質被膜と金属層との多層構造とし、最外層を前記硬質被膜とすることを特徴とする耐食性硬質多層膜の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/06 ,  C23C 28/00