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J-GLOBAL ID：200903050620135529

焦点検出装置

Inventor： 山岸 毅 ,  青木 雅弘
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 篠原 泰司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994181435
Publication number (International publication number)：1996043717
Application date： Aug. 02, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 より安定した合焦点の判定をより広範囲に亘る領域において行うことができ、且つ、様々な被検体への対応が可能な焦点検出装置を提供すること。【構成】 本発明による焦点検出装置には、光源からの光を被測定面26へ向けて照射し、被測定面26からの反射光を受光光学系へ導くための対物レンズ25と、複数の光路を有し各々倍率が異なるレンズが配置された受光光学系と、この受光光学系を介して入射する被測定面26からの反射光の光量に対応した信号を出力する光検出手段29a,29b,35a及び35bと、これら光検出手段からの出力信号に基づき被測定面26の位置を判定するための信号を出力する信号処理系30とが備えられている。

Claim (excerpt)：

光源からの光を被測定面へ向けて照射し該被測定面からの反射光を受光光学系へ導くための対物レンズと、複数の光路を有し各々倍率が異なるレンズが配置された受光光学系と、該受光光学系を介して入射する前記被測定面からの反射光の光量に対応した信号を出力する光検出手段と、該光検出手段からの出力信号に基づき被測定面の位置を判定するための信号を出力する信号処理系とが備えられていることを特徴とする焦点検出装置。

IPC (3)：

G02B 7/28 ,  G02B 7/04 ,  G03B 13/36

FI (3)：

G02B 7/11 N ,  G02B 7/04 C ,  G03B 3/00 A