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J-GLOBAL ID：200903050632847427

基板収納容器

Inventor： 三村 博 ,  矢島 敏嗣
Applicant, Patent owner： 信越ポリマー株式会社
Agent (3)： 藤本 英介 ,  神田 正義 ,  宮尾 明茂
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002275495
Publication number (International publication number)：2004111830
Application date： Sep. 20, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：

【課題】支持部材の摩擦抵抗を小さくして基板の破損等を抑制し、基板を立てて取り扱う場合に、基板の傾きを抑制して基板が支持部材と接触したり、基板同士が接触して破損等するのを防止できる基板収納容器を提供する。【解決手段】複数枚の基板Wを整列収納する容器本体1と、容器本体1の開口正面をシール可能に閉鎖する蓋体とを備える。容器本体1の内部両側に基板用の支持部材20を配設し、各支持部材20の基板接触領域23の少なくとも一部に、支持部材20の非基板接触領域よりも摩擦抵抗の小さい低摩擦抵抗部24を形成するとともに、低摩擦抵抗部24の算術表面粗さを平均粗さ(Ra)で0.2a以上にする。基板接触領域23に摩擦抵抗の小さい低摩擦抵抗部24を形成するので、基板Wがリヤリテーナの収納溝の途中で停止することがない。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

一端面が開口した容器本体に基板を収納する基板収納容器であって、 容器本体の内部両側に基板用の支持部材をそれぞれ設け、これら容器本体の内部両側と支持部材のうち、少なくとも各支持部材の基板接触領域の一部に、支持部材の非基板接触領域よりも摩擦抵抗の小さい低摩擦抵抗部を形成したことを特徴とする基板収納容器。

IPC (2)：

H01L21/68 ,  B65D85/86

FI (2)：

H01L21/68 T ,  B65D85/38 R

F-Term (24)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA02 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA05 ,  3E096DA23 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096FA09 ,  3E096GA04 ,  3E096GA05 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA08 ,  5F031EA02 ,  5F031EA06 ,  5F031EA09 ,  5F031EA14 ,  5F031EA19 ,  5F031PA08 ,  5F031PA30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 精密基板収納容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-294819   Applicant：信越ポリマー株式会社
• 半導体ウェハ収納容器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-083343   Applicant：三菱電機株式会社