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J-GLOBAL ID：200903050648947715

薄膜の塗布製膜方法

Inventor： 新本 哲也 ,  中山 信男 ,  尾村 邦嘉 ,  室園 幹夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 東島 隆治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994138468
Publication number (International publication number)：1996001076
Application date： Jun. 21, 1994
Publication date： Jan. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 微粉末を粘結剤と混合したペースト状材料を基板に塗布する製膜方法において、基板に亀裂等の悪影響を及ぼすことなく、膜質、機械的強度を向上する。【構成】 塗布した膜に対して音響装置を用いて非接触式で振動を与える。または、前記の振動とともに、基板に対して別の振動装置により接触式で振動を与える。

Claim (excerpt)：

微粉末と粘結剤を混合したペースト状材料を基板上に塗布する工程、および前記ペースト状材料の塗布工程中または塗布工程後に、基板および塗布されたペースト状材料の少なくとも一方に、音響装置を用いて非接触で振動を与える工程を有することを特徴とする薄膜の塗布製膜方法。

IPC (3)：

B05D 3/12 ,  B22F 7/04 ,  H01L 31/04