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J-GLOBAL ID：200903050657940235

高周波用コイルおよびその作製方法

Inventor： 田子 章男 ,  柳沢 佳一
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 志賀 富士弥
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991195241
Publication number (International publication number)：1993041321
Application date： Aug. 05, 1991
Publication date： Feb. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 薄膜トランス等のコイルにおいて、コイルの電流方向に垂直な表面積を大きくしてQ値を高めるとともに、コイル断面のアスペクト比を高くして高密度配置を可能にする。【構成】 コイル11の断面形状を凹状にして電流方向に垂直な表面積を大きくする。このようなコイル11を作製するためにフォトレジスト12でマスクパターンを作製する際に、コントラスト増強剤を用いて、レジスト層の上から基板面に到るまで露光を均一にする。これにより、フォトレジスト12の高さを高くできるようにしてコイル高さを高くできるようにし、アスペクト比を高める。

Claim (excerpt)：

導線の電流方向断面が凹状であることを特徴とする高周波用コイル。

IPC (4)：

H01F 17/00 ,  H01F 5/00 ,  H01F 19/00 ,  H01F 41/04