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J-GLOBAL ID：200903050670392999

走査型顕微鏡

Inventor： 川間 吉竜
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992222490
Publication number (International publication number)：1994067094
Application date： Aug. 21, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 走査型顕微鏡において、試料の表面側から深さ方向の断面形状を非破壊で評価できる顕微鏡を得る。【構成】 少なくとも点光源1,対物レンズ3,試料4,ピンホール5,光検出器6からなる走査型顕微鏡において、点光源1とピンホール5を直線状に繰り返し走査し、同時に試料4を深さ方向に移動させることを特徴としている。

Claim (excerpt)：

少なくとも点光源と、レンズと、ピンホールと、光検出器とにより構成される走査型顕微鏡において、前記点光源として試料を透過しうる波長のものを用い、この点光源の走査を直線状に繰り返す点光源走査手段と、前記ピンホールの走査を直線状に繰り返すピンホール走査手段と、前記試料を入射光に対して奥行き方向に移動する試料移動手段とを備えたことを特徴とする走査型顕微鏡。