Pat
J-GLOBAL ID：200903050675458831
長尺体用コーティング装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992005014
Publication number (International publication number)：1993195230
Application date： Jan. 14, 1992
Publication date： Aug. 03, 1993
Summary：
【要約】【目的】 長尺体の周囲表面に均一な厚みを有する薄膜を形成することのできる長尺体用コーティング装置を提供する。【構成】 ガス導入管を通して反応室内に反応ガスを導入し、反応室内の長尺体表面に気相成長法によって表面被覆層を形成するコーティング装置である。ガス導入管のガス放出部は、長尺体の回りを取囲むように複数個設けられている。複数個のガス放出部から放出された反応ガスは、長尺体の周囲表面に均一に供給され、長尺体の表面に均一な膜厚の薄膜を形成する。
Claim (excerpt)：
ガス導入管を通して反応室内に反応ガスを導入し、反応室内の長尺体表面に気相成長法によって表面被覆層を形成するコーティング装置において、前記ガス導入管のガス放出部は、前記長尺体の回りを取囲むように複数個設けられていることを特徴とする、長尺体用コーティング装置。
IPC (2)：
Return to Previous Page
