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J-GLOBAL ID：200903050682087385

鋼系複合表面処理製品とその製造方法

Inventor： 石井 芳朗 ,  柳沼 良和
Applicant, Patent owner： 株式会社ライムズ ,  住友金属鉱山株式会社 ,  日本電子工業株式会社 ,  日本コーティングセンター株式会社
Agent (1)： 押田 良久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994188914
Publication number (International publication number)：1996035075
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Feb. 06, 1996
Summary：

【要約】【目的】密着性と耐久性の優れた硬質膜を金属部材の表面に形成する手段を提供。【構成】金属部材を所定の温度に保持し、アンモニアガスと水素ガス等の雰囲気下でグロー放電を行いイオン窒化する。次に、このイオン窒化層の上にPVD法により硬質被膜を形成する。【効果】イオン窒化層の上に硬質膜を形成するので、硬質膜の変形が起りにくく、硬質被膜の破壊も少ない。複雑形状を有する金属部材や表面が細密な溝構造を持つものでも均一にイオン窒化することができるので、金属部材全体に密着力および耐久性の優れた硬質膜を形成することができる。

Claim (excerpt)：

金属部材を300〜650°Cの温度に保持し、アンモニアガスと水素ガスを用い、金属部材の表面に0.001〜2.0 mA/cm2 の電流密度のグロー放電を行いイオン窒化することにより形成した窒化層の第1層と、PVD法により前記第1層に被覆したTi、Zr、Hf、V、Nb、TaおよびCrの少なくとも1種の窒化物、炭化物および/または炭窒化物からなる硬質被膜、あるいは前記硬質被膜の積層膜あるいは積層傾斜膜の第2層を有することを特徴とする鋼系複合表面処理製品。

IPC (4)：

C23C 28/02 ,  C23C 8/38 ,  C23C 8/80 ,  C23C 14/06