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J-GLOBAL ID:200903050691399110

アライメントマークとアライメント方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995223081
Publication number (International publication number):1997068705
Application date: Aug. 31, 1995
Publication date: Mar. 11, 1997
Summary:
【要約】【課題】 ホログラムカラーフィルターと液晶表示素子の画素とのアライメントに適したアライメントマークとアライメント方法。【解決手段】 ホログラムカラーフィルター等の主ホログラム13と同一基板11上に干渉縞あるいは回折格子から構成されたアライメントマーク14を設けて構成し、アライメントマーク14を可視化する方法を用いて液晶表示素子等のアライメント対象基板の対向アライメントマークと位置合わせをするので、アライメントマーク14を主ホログラム13の作製工程において同時に同様に形成することができる。また、アライメントマーク14を可視化する方法により、通常不可視のアライメントマーク14を容易に可視化でき、正確な位置決めが可能となる。
Claim (excerpt):
ホログラム又は回折格子と同一基板上に設けられたアライメントマークにおいて、前記アライメントマークが干渉縞あるいは回折格子から構成されていることを特徴とするアライメントマーク。
IPC (2):
G02F 1/1335 505 ,  G03H 1/24
FI (2):
G02F 1/1335 505 ,  G03H 1/24

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