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J-GLOBAL ID：200903050698764298

スクラッチ強度試験装置および試験方法

Inventor： 谷 弘詞 ,  小川 陽子 ,  笹岡 徹
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999273789
Publication number (International publication number)：2001091445
Application date： Sep. 28, 1999
Publication date： Apr. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】高速で連続的に荷重を変化させながらスクラッチ試験を行うことが可能なスクラッチ強度試験装置及び方法を提供する。【解決手段】薄膜のスクラッチ強度を試験する試験装置において、薄膜の試験サンプルを搭載・固定するステージと、該ステージを傾斜させた状態で歳差回転させる回転機構と、上記サンプル表面を引っ掻くスクラッチ針と、該スクラッチ針の高さを決める垂直方向の位置決め機構と、回転中心からの上記スクラッチ針の水平方向距離を連続的に変化させる直線運動機構と、上記スクラッチ針にかかる摩擦力を検出する機構と、上記スクラッチ針が上記試験サンプルを引っ掻く際の荷重をかける機構とを有することを特徴とするスクラッチ強度試験装置。

Claim (excerpt)：

薄膜のスクラッチ強度を試験する試験装置において、薄膜の試験サンプルを搭載・固定するステージと、該ステージを傾斜させた状態で歳差回転させる回転機構と、上記サンプル表面を引っ掻くスクラッチ針と、該スクラッチ針の高さを決める垂直方向の位置決め機構と、回転中心からの上記スクラッチ針の水平方向距離を連続的に変化させる直線運動機構と、上記スクラッチ針にかかる摩擦力を検出する機構と、上記スクラッチ針が上記試験サンプルを引っ掻く際の荷重をかける機構とを有することを特徴とするスクラッチ強度試験装置。

IPC (2)：

G01N 19/04 ,  G01N 3/00

FI (2)：

G01N 19/04 C ,  G01N 3/00 Q

F-Term (5)：

2G061BA01 ,  2G061CB16 ,  2G061CB18 ,  2G061DA01 ,  2G061EA10