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J-GLOBAL ID:200903050712394628
複合構造物作製方法
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
小山 有
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002077992
Publication number (International publication number):2003213450
Application date: Mar. 20, 2002
Publication date: Jul. 30, 2003
Summary:
【要約】【課題】 微粒子を含むエアロゾルを基材に高速で吹き付けて複合構造物を作成するにあたり、長時間安定して生産性よく複合構造物を作製する方法と装置を提供する。【解決手段】 内部ひずみを与えられた酸化アルミニウム微粒子を準備し、これをエアロゾル発生器103内に充填し、窒素ガスボンベ101より搬送管102を通じて混合粉末を装填したエアロゾル発生器103内に窒素ガスを導入し、エアロゾル発生器103を作動させて酸化アルミニウム微粒子を含むエアロゾルを発生させる。エアロゾルは搬送管102を通じてガス加熱装置104に導入される。エアロゾルはガス加熱装置104内で所定の温度に加熱され、保温機能付き搬送管105を介して構造物作製室106内に設置されたノズル107から基板109に向けて高速で微粒子ビームとして噴射する。また、微粒子ビームの温度は熱電対108で検知している。微粒子ビームを噴射させると同時に基板109を揺動させて複合構造物を形成させた。
Claim (excerpt):
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルをノズル先端から噴射して基板に吹き付けて微粒子の材料からなる堆積層を基板上に形成させることによって基板と堆積層からなる複合構造物を作製する複合構造物作製方法において、前記エアロゾルの温度を室温より高く120°C以下の範囲に制御して前記複合構造物を形成することを特徴とする複合構造物作製方法。
F-Term (11):
4K044AA01
, 4K044AA12
, 4K044AA16
, 4K044BA01
, 4K044BA11
, 4K044BA12
, 4K044BA21
, 4K044BB01
, 4K044BB03
, 4K044CA23
, 4K044CA24
Patent cited by the Patent:
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