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J-GLOBAL ID：200903050761277270

耐摩耗性部材およびその製造方法

Inventor： 渡辺 俊哉 ,  山下 信樹
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 光石 俊郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997178080
Publication number (International publication number)：1999021663
Application date： Jul. 03, 1997
Publication date： Jan. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】 窒素の組成比が高い窒化炭素膜を有する耐摩耗性部材およびその製造方法を提供する。【解決手段】 基材1を基材ホルダ12に設置した後、真空容器11内を2×10-6torr以下に予備排気したら、窒素または窒素含有ガスをイオン源14に供給し、当該イオン源14から基材1に向けて窒素または窒素を含有するガスのイオン3aを照射すると同時に、蒸発源13から基材1に向けて炭素蒸気2aを照射して蒸着させることにより、窒素の組成比の高い窒化炭素膜の成膜された耐摩耗性部材を得る。

Claim (excerpt)：

基材の表面に窒素または窒素を含有するガスのイオンと炭素蒸気とが照射されて膜状の窒素と炭素との化合物が当該基材の表面に形成されていることを特徴とする耐摩耗性部材。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 膜被覆物およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-113946   Applicant：日新電機株式会社