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J-GLOBAL ID：200903050766910001
カンチレバー型プローブ、これを用いた情報処理装置及び情報処理方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991351724
Publication number (International publication number)：1993120742
Application date： Dec. 16, 1991
Publication date： May. 18, 1993
Summary：
【要約】【目的】 探針(プローブ)と媒体との適切な位置関係を保つに十分なカンチレバーの反りを除去し、観察速度、情報の転送速度、及び記録・再生速度の向上を図ったカンチレバー型プローブを提供することにある。【構成】 1層又は複数層の圧電体薄膜の界面及び上下面に圧電体薄膜を変位させるための駆動用電極を設け、更にプローブ用の引き出し電極を有するカンチレバー状の変位素子を備えたカンチレバー型プローブであって、該変位素子の自由端部に情報入出力用プローブを有し、かつ該変位素子の少なくとも上面部分又は下面部分に非電気伝導体薄膜を設けたことを特徴とするカンチレバー型プローブである。
Claim (excerpt)：
1層又は複数層の圧電体薄膜の界面及び上下面に圧電体薄膜を変位させるための駆動用電極を設け、更にプローブ用の引き出し電極を有するカンチレバー状の変位素子を備えたカンチレバー型プローブであって、該変位素子の自由端部に情報入出力用プローブを有し、かつ該変位素子の少なくとも上面部分又は下面部分に非電気伝導体薄膜を設けたことを特徴とするカンチレバー型プローブ。
IPC (3)：
G11B 9/00
, H01J 37/28
, H01L 21/66
