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J-GLOBAL ID：200903050769616716

電子デバイスの歩留り予測システム

Inventor： 小野 眞 ,  岩田 尚史 ,  濱村 有一 ,  根本 和典
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000259006
Publication number (International publication number)：2002076086
Application date： Aug. 29, 2000
Publication date： Mar. 15, 2002
Summary：

【要約】【課題】歩留り予測対象の製品の製造ラインについての欠陥粒径分布を測定することなく、予測対象の製品の製造開始前に、精度よく歩留りを予測することのできる歩留り予測システムを提供する。【解決手段】製品Bの製造歩留りを予測するシステムである。このシステムは、製品Bとは配線パターンが異なるが、製造プロセスが同じである製品Aについて、実測データを用いて、欠陥密度D0を算出する(ステップ23)。製品Bについて、製造時に発生する欠陥のうちの製品Bを不良とする欠陥の割合を示す致命的欠陥率θBを、製品Bのレイアウトデータからシミュレーションにより求める(ステップ25)。製品Aについての欠陥密度D0を製品Bについての欠陥密度D0とし、この欠陥密度D0と致命的欠陥率θBとを用いて、製品Bの歩留りを算出する(ステップ26)。

Claim (excerpt)：

第1の電子デバイスの製造歩留りを予測するための歩留り予測システムであって、前記第1の電子デバイスとは配線パターンが異なる第2の電子デバイスについて、実測データを用いて、欠陥密度を算出する欠陥密度算出手段と、前記第1の電子デバイスについて、製造時に発生する欠陥のうちの前記第1の電子デバイスを不良とする欠陥の割合を示す致命的欠陥率を、前記第1の電子デバイスのレイアウトデータからシミュレーションにより求める致命的欠陥率算出手段と、前記第1の電子デバイスについての欠陥密度と、前記第1の電子デバイスについて前記致命的欠陥率算出手段が求めた致命的欠陥率とを用いて、前記第1の電子デバイスの歩留りを算出する歩留り算出手段とを有し、前記歩留り算出手段は、前記欠陥密度算出手段が算出した前記第2の電子デバイスについての欠陥密度を、前記第1の電子デバイスの欠陥密度として用いることを特徴とする電子デバイスの歩留り予測システム。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/02

FI (3)：

H01L 21/66 Z ,  H01L 21/02 Z ,  G01R 31/28 F

F-Term (14)：

2G032AA00 ,  2G032AB20 ,  2G032AC08 ,  2G032AD08 ,  2G032AE00 ,  2G032AE10 ,  2G032AE12 ,  2G032AL00 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ15 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38