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J-GLOBAL ID：200903050774023588

超音波洗浄システム

Inventor： 黒川 禎明 ,  磯 明典
Applicant, Patent owner： 株式会社芝浦製作所
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995223072
Publication number (International publication number)：1997069506
Application date： Aug. 31, 1995
Publication date： Mar. 11, 1997
Summary：

【要約】【課題】この発明は洗浄絵液に含まれる気体によって洗浄効果の低下や振動板が発熱するのを防止した超音波洗浄システムを提供することにある。【解決手段】 ワ-ク24を超音波振動が付与された洗浄液で洗浄するための超音波洗浄システムにおいて、上記洗浄液の供給源1と、この供給源に一端が接続された供給管路2と、この供給管路の他端に接続され上記供給源から供給された洗浄液に超音波振動を付与してから上記ワ-クに向けて噴射する超音波印加ノズル装置14と、上記供給管路の中途部に設けられ上記超音波印加ノズル装置へ供給される洗浄液に含まれる気体を除去する脱気装置4とを具備したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ワ-クを超音波振動が付与された洗浄液で洗浄するための超音波洗浄システムにおいて、上記洗浄液に含まれる気体を除去してからその洗浄液に超音波振動を付与することを特徴とする超音波洗浄システム。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/12

FI (2)：

H01L 21/304 341 M ,  B08B 3/12 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 超音波洗浄装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-215593   Applicant：東レ株式会社
• 特開平3-288581