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J-GLOBAL ID：200903050780051208
研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992298016
Publication number (International publication number)：1994114742
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： Apr. 26, 1994
Summary：
【要約】【目的】初期の研磨力が高く、また、この研磨力を長時間持続させるとともに、目づまりのない研磨用パッドを得る。【構成】研磨用パッド1の母地10は、研磨材粒子30を40重量%の割合で含有しており、スラリー中の砥粒を捕獲するための発泡気孔20を有するとともにブロック状に成形された研磨用パッド1となっている。
Claim (excerpt)：
あらかじめ母地に研磨材粒子が含有され、砥粒を含むスラリーを供給する穴および溝を有してなる研磨用パッドにおいて、含有される研磨材粒子の含有量が40〜50重量%であることを特徴とする研磨用パッド。
IPC (2)：
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