Pat

J-GLOBAL ID：200903050808870285

光学測定装置

Inventor： 廣野 泰亮 ,  植田 護 ,  大林 康二
Applicant, Patent owner： 興和株式会社
Agent (1)： 遠山 勉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997073916
Publication number (International publication number)：1998267631
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： Oct. 09, 1998
Summary：

【要約】【課題】 必要なデータを、短時間で測定することができる光学測定装置を提供する。【解決手段】 短コヒーレント長光を用いた光学測定装置内に、反射ミラー13を微少に変動させることによって、参照光を変調する微少変動機構30と、微少変動機構30の位置を制御する移動機構31を設ける。そして、データ収集(測定)が行われるときには、微少変動機構30のみが起動(活性化)され、測定点の深さを変えるときには、データ収集が行われず、移動機構31の駆動のみが行われるように、光学測定装置を構成する。

Claim (excerpt)：

入射された光を合波するための光合波手段と、短いコヒーレント長を有する光を発生する光発生手段と、この光発生手段が発生した光を、参照光と測定光に分離する光分離手段と、この光分離手段が分離した参照光の前記光合波手段に至る光路長と参照光基準光路長との隔たりが、測定に必要とされる位置分解能に応じた値以下となる状態を維持しつつ、前記参照光を変調して前記光合波手段に導入する参照光導入手段と、前記光分離手段が分離した測定光を測定対象試料に導入するとともに、測定対象試料によって反射、散乱された測定光を前記光合波手段に導入する測定光導入手段と、前記光合波手段によって合波された光の強度に応じたレベルの電気信号を出力する光電変換手段と、この光電変換手段が出力する電気信号と、前記参照光導入手段による参照光の変調周波数とを用いて、前記測定対象試料の、一測定点に関する光学特性データを取得する取得手段とを備えることを特徴とする光学測定装置。

IPC (4)：

G01B 11/24 ,  A61B 3/10 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/17

FI (4)：

G01B 11/24 Z ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 21/17 A ,  A61B 3/10 R