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J-GLOBAL ID：200903050813858358
半導体レーザ光学系の非点収差補正方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994040205
Publication number (International publication number)：1995249235
Application date： Mar. 11, 1994
Publication date： Sep. 26, 1995
Summary：
【要約】【目的】 半導体レーザ光学系において集束光のスポット径縮小を阻害する最大要因である非点収差を補正する方法に関し、スポット径縮小のための非点収差補正に要する調整時間を短縮可能な非点収差補正方法の提供を目的とする。【構成】 モニタ用対物レンズ2を移動し、光軸と直交する集束光の断面の水平方向の径が最小になる位置において固定する作業と、コリメートレンズ12を移動し、集束光の断面の垂直方向の径が最小になる位置において固定する作業とを、少なくとも1回行って非点収差を補正するように構成する。
Claim (excerpt)：
被調整半導体レーザ光学系(1) に組み込まれたコリメートレンズ(12)を光軸方向に移動可能なステージ(7) と、該半導体レーザ光学系(1) の対物レンズ(14)から出る集束光の光軸方向に移動可能なステージ(6) と、該ステージ(6) に搭載され任意の点において該集束光の2次元断面像を取り込むモニタ用対物レンズ(2) と、取り込んだ該2次元断面像から該2次元断面像の形状、または光強度を計測する計測手段(8) とを有し、半導体レーザ(11)と該コリメートレンズ(12)とアナモルフィックプリズム(13)と該対物レンズ(14)が順次配列された、該半導体レーザ光学系(1) の該対物レンズ(14)の焦点位置における非点収差を補正する方法であって、該モニタ用対物レンズ(2) を移動し、光軸と直交する該集束光の断面の水平方向の径が最小になる位置において固定する作業と、該コリメートレンズ(12)を移動し、該集束光の断面の垂直方向の径が最小になる位置において固定する作業とを、少なくとも1回行って非点収差を補正することを特徴とする半導体レーザ光学系の非点収差補正方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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