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J-GLOBAL ID:200903050819628125

ガス多分岐ユニット

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福森 久夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993300405
Publication number (International publication number):1995149430
Application date: Nov. 30, 1993
Publication date: Jun. 13, 1995
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、可及的に集約型であって、設置スペースを縮小することができ、組み付け作業や、メインテナンス作業を容易に行うことができる等としたガス多分岐ユニットを提供することを目的とする。【構成】 ブロック体たる第1〜第5の円板体1〜5を積層し、第1の円板体1の各導入孔1a〜1dにガス供給管6〜9を接続し、第5の円板体5に形成された各吹き出し口5Pa〜5Ph等を制御ユニットの制御孔等に臨ませておき、各ガス供給管6〜9のいずれかに所定のガスを圧送すると、該圧送されたガスは当該導入孔と連通するいずれかの流路を介し制御孔から吹き出る。【効果】 ブロック体を積層した構造であり、従来のような吹き出し管を省略できるので、占積スペースを小さくでき、その接続やメインテナンス作業が容易となる。
Claim (excerpt):
複数の所定形状のブロック体を積層して成り、そのうちの一のブロック体には厚み方向に貫通する複数の導入孔を設け、該一のブロック体上に積層される他の各ブロック体の夫々には、内方の所定箇所から外周側に向かって放射状に延びる適数条の流路を設ける一方、当該ブロック体の夫々の前記所定箇所と当該所定箇所に対応する前記一のブロック体のいずれかの導入孔とを直接的に連通、又は該一のブロック体と当該ブロック体との間に介在する他のブロック体を貫通するように形成された中継導入孔を介して連通させ、前記複数の導入孔には、夫々に対応する所定箇所とのみ連通するように制御用ガスのガス供給管を接続し、前記一のブロック体とは反対側に位置する他の一のブロック体には、当該ブロック体の夫々の流路と直接的に又は該他の一のブロック体と当該ブロック体との間に介在する他のブロック体を貫通するように形成された中継吹き出し孔を介して連通する複数の吹き出し口を設けたことを特徴とするガス多分岐ユニット。
IPC (3):
B65G 53/06 ,  B65G 51/16 ,  B65G 53/50

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