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J-GLOBAL ID：200903050831603677

赤外線センサ

Inventor： 曽根 厚 ,  小松 清 ,  森 武寿 ,  木村 光照
Applicant, Patent owner： テルモ株式会社 ,  木村 光照
Agent (1)： 藤島 洋一郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992311709
Publication number (International publication number)：1994074820
Application date： Nov. 20, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 赤外線感温膜から失われる赤外線のエネルギー量を最小限に抑え、センサ感度を向上させる。【構成】 シリコン基板11には2つの空洞部14a、14bが形成されており、これら空洞部14a、14bの下部には架橋部12a、12bが形成されている。架橋部12a、12bの各中央部の下面には赤外線感温膜13a、13bが設けられている。シリコン基板11の両面には表蓋17および裏蓋22がそれぞれ高融点半田接合または陽極接合法により接合されており、赤外線感温膜13a、13bの周囲は同一真空度の状態に封止されている。

Claim (excerpt)：

空洞部を有し、この空洞部に赤外線感温膜が配設されたセンサ基板と、このセンサ基板の前記空洞部を覆い、前記赤外線感温膜の周囲を真空に封止する真空封止手段とを備えたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (2)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-001535
  
• 特開平3-199933
  
• 特開平1-096548