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J-GLOBAL ID:200903050852242534

多書込み用ビーム源を有する光学式画像化ヘッド

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小田島 平吉
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000310306
Publication number (International publication number):2001162866
Application date: Oct. 11, 2000
Publication date: Jun. 19, 2001
Summary:
【要約】【課題】 高速、高品質の画像化システムを得る。【解決手段】 媒体上に画像を画像化する光学式画像化ヘッドは、実質的に均一な放射の線を作るライン照明モジュール、対物面を形成し、ライン照明モジュールから放射の線を受けて変調された放射の回折次数を作る格子光弁、変調された放射を受けて画像焦点と無関係に画像倍率を調整する第1のレンズ群、第1のレンズ群から倍率調整済みの変調放射を受けテレセントリックな方法で媒体に送り画像倍率と無関係に画像焦点を調節する第2のレンズ群、及び第1及び第2のレンズ群の間に置かれ、0次回折の倍率調整済みの変調放射のみを通過させる開口を有する絞り具を備える。
Claim (excerpt):
媒体上に画像を画像化するための光学式画像化ヘッドであって、実質的に均一な放射の線を作るためのライン照明モジュール、対物面を形成し、ライン照明モジュールから放射の線を受けそして変調された放射の回折次数を作る格子光弁、変調された放射を受けそして画像焦点と無関係に画像倍率を調整するための第1のレンズ群、第1のレンズ群から倍率の調整された変調放射を受けテレセントリックな方法で媒体に通過させるための第2のレンズ群であって、画像倍率と無関係に画像焦点を調節する前記第2のレンズ群、及び第1及び第2のレンズ群の間に置かれ、0次回折の倍率調整済みの変調放射を通過させ、そして非0次回折の倍率調整済み変調放射を阻止するための単一の開口を有する絞り具を備えた画像化ヘッド。
IPC (5):
B41J 2/44 ,  B41J 2/32 ,  G02B 13/22 ,  G02B 15/16 ,  G03B 27/32
FI (5):
G02B 13/22 ,  G02B 15/16 ,  G03B 27/32 G ,  B41J 3/00 M ,  B41J 3/20 109 A
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
  • 特開昭59-206819
  • 特開昭62-153934
  • 変倍テレセントリック光学系
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-352985   Applicant:株式会社ニコン
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