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J-GLOBAL ID：200903050862768992

画像パターンの検査方法及びその装置

Inventor： 角間 央章 ,  法貴 哲夫
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992078239
Publication number (International publication number)：1993240801
Application date： Feb. 27, 1992
Publication date： Sep. 21, 1993
Summary：

【要約】【目的】 基準画像パターンと検査画像パターンを比較して検査するときに、両画像間の配線パターンのコーナー部に現れる欠陥とすべきでない差異による誤判断を防止する。【構成】 CADで作成された設計データより得られる基準画像パターンに、4連結拡大、8連結拡大、4連結縮小、及び8連結縮小の各単位操作を所定の順列に従って順次実行することにより変換を施し、変換後の基準画像パターンを検査画像パターンと比較して欠陥の検査を行う。【効果】 変換により基準画像パターンのコーナー部に丸みが付加されるために、検査対象画像が有する欠陥とすべきではないコーナー部の丸みによる検査における誤判断を防止し得る。

Claim (excerpt)：

検査対象画像パターンを基準画像パターンと比較して欠陥の検出を行う画像パターンの検査方法であって、(a)前記基準画像パターンに、4連結拡大、8連結拡大、4連結縮小、及び8連結縮小の各単位操作を所定の順列に従って順次実行する工程と、(b)前記検査対象画像パターンを前記工程(a)の結果得られる前記基準画像パターンと比較して欠陥の検出を行う工程と、を備えた画像パターンの検査方法。

IPC (4)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/66 355

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭61-251705
  
• 特開昭62-274476
  
• 特開平2-071377