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J-GLOBAL ID：200903050876719927
面方位測定装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992319902
Publication number (International publication number)：1994167325
Application date： Nov. 30, 1992
Publication date： Jun. 14, 1994
Summary：
【要約】【目的】 精度の高い測定を迅速に行うことができる面方位測定装置を提供する。【構成】 試料たるプリズム1の面方位を観測する望遠鏡51の対物レンズ51aの焦点面に位置検出型の撮像素子51bを配置し、該撮像素子51bによって得られる投影用指標像に処理装置9による画像処理を含む処理を施すことによって該投影用指標像の位置を求め、この位置とレチクルジェネレータ10によって形成されるレチクル(基準指標)の位置並びにロータリーエンコーダ21aによる角度測定値とから各面の方位を求める。
Claim (excerpt)：
基台に回転自在に取り付けられた試料台と、前記試料台の回転軸と共通の軸を中心に回転自在に取り付けられた望遠鏡であって、該望遠鏡の対物光学系の焦点面と光学的に共役な面に配置された投影用指標と、この投影用指標を照明して得られる投影光を前記対物光学系を通して外部に出射させる投影用光源と、前記対物光学系を通して入射した光によってその焦点面に結像される光学像を検出する位置検出型の撮像素子とを備えた望遠鏡と、前記試料台又は望遠鏡のいずれか一方又は双方の回転角度に対応する電気的信号を発生する角度測定装置と、前記撮像素子によって形成される画像に望遠鏡の角度位置を示す基準指標の画像を重ねて形成する画像信号を発生する基準指標発生装置と、前記撮像素子、角度測定装置及び基準指標発生装置を制御するとともに、これらから送出される画像信号を含む信号を処理する処理装置とを有し、前記処理装置は、前記望遠鏡を前記試料台に載置された被測定試料の被測定面に向けたときに前記撮像素子によって形成される投影用指標像の位置を求めてこれら面の方位を求める処理を行う機能を備えたものであることを特徴とする面方位測定装置。
IPC (2)：
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