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J-GLOBAL ID：200903050919141894

プラズマ反応装置

Inventor： 田代 和昭 ,  望月 千織 ,  庄司 辰美 ,  水谷 英正
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 若林 忠
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993082113
Publication number (International publication number)：1994295866
Application date： Apr. 08, 1993
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 周波数によらずにグロー放電の安定性および効率を高めることができるプラズマ反応装置を提供する。【構成】 カソード電極3の外周には絶縁部材5が配置され、絶縁部材5の周囲には真空容器と電気的に接続されたアースシールド6aが設置され、アースシールド6aはカソード電極3と絶縁部材5によって絶縁されており、さらにアースシールド6aは絶縁部材5を介してカソード電極3を電気的にシールドするように構成され、アースシールド6aは分割されている。

Claim (excerpt)：

真空容器と、該真空容器内に設けられた被成膜基板を保持するアノード電極と、該アノード電極に対向して設けられたカソード電極と、該カソード電極に接続され、高周波電力を印加してグロー放電を生起するための高周波電源系と、前記真空容器に接続され、原料ガスを真空容器内に導入する原料ガス導入系と、前記原料ガスを排気するための排気系とを具備し、前記カソード電極の外周には絶縁部材が配置され、該絶縁部材の周囲には前記真空容器と電気的に接続された導電性部材が設置され、該導電性部材は前記絶縁部材によって前記カソード電極と絶縁されており、さらに前記カソード電極と前記アノード電極間のみに高周波グロー放電が生起するように前記導電性部材は前記絶縁部材を介して前記カソード電極を電気的にシールドするように構成され、前記導電性部材は、前記カソード電極の外周全面に対する面積比が100%より小さいことを特徴とするプラズマ反応装置。

IPC (3)：

H01L 21/205 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/302