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J-GLOBAL ID：200903050942582075
熱電材料の作製方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
北村 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995185337
Publication number (International publication number)：1997036440
Application date： Jul. 21, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：
【要約】【目的】 工程が簡便であるとともに不純物の混入を避けることができ、さらに、熱電材料として使用する場合に、素子全体として高い性能指数を示す熱電材料を得る。【構成】 成分組成比の異なった複数のターゲットを作製し、これらのターゲットから基板に蒸着される各成分の量を経時的に変化させて傾斜性を有する熱電材料を得る。
Claim (excerpt)：
ビスマス、テルル、アンチモン、セレンから選択される少なくとも2種以上を含む熱電材料を作製する熱電材料の作製方法であって、前記4種の成分のうちのいずれか1種以上を異なった組成比で含有する複数のターゲット(10)を作製するとともに、減圧真空維持される成膜室(6)内に、成膜対象の基板(3)に対向して前記複数のターゲット(10)を配設し、前記複数のターゲット(10)にレーザー光(5)を照射して前記複数のターゲット(10)より複数のプルーム(15)を発生させて前記基板(3)上に蒸着させて、レーザーアブレーション法により前記熱電材料を作製する熱電材料の作製方法。
IPC (2)：
FI (2)：
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