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J-GLOBAL ID：200903050944813481

ウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法

Inventor： 浜崎 彰 ,  金井 一男 ,  中西 鈴枝
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社 ,  菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング株式会社
Agent (1)： 大岩 増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999035398
Publication number (International publication number)：2000236008
Application date： Feb. 15, 1999
Publication date： Aug. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】 自工程で処理済みのウエハ入りカセットを次工程の製造ラインに搬送しようとする場合、次工程製造ラインが受け入れ状態にないときはそのまま待機せざるを得ず、自工程の前工程のカセットも待機状態となり、システム全体の搬送が滞留し稼働率が低減する。【解決手段】 製造ライン1aで処理されストッカ3aに収納されたウエハ入りカセット6を次工程の製造ライン1bに搬送する場合、製造ライン1bが受け入れ状態にないときは、ストッカ3aからの搬送時間が最短で受け入れ状態にある製造ライン1cのストッカ3cに次工程の製造ライン1bが受け入れ状態になるまで仮置きするようにした。

Claim (excerpt)：

ウエハの所要の処理を行う複数の処理装置と、上記処理前後においてウエハ入りカセットを一時的に収納するストッカと、上記処理装置及び上記ストッカ間に設けられ相互間を上記カセットが搬送される通路となる工程内搬送路とを有し、複数の製造工程のそれぞれに対応して少なくとも一つ配設された製造ライン、上記各製造ラインのストッカ同志を結んで設けられ工程進捗に応じて上記ストッカ間を上記カセットが搬送される通路となる工程間搬送路を備え、上記工程内搬送路及び上記工程間搬送路におけるカセットの搬送車による搬送をコンピュータにより自動制御するウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法において、上記コンピュータによる制御が、所定の処理済みウエハ入りカセットの次工程の予定搬送先である製造ラインが受け入れ状態にないことを認識し上記カセットを仮置き可能な他の製造ラインのストッカを捜索する第1のステップ、捜索して見出だした上記次工程以外の製造ライン中の受け入れ可能な状態にある製造ラインを記憶すると共に、記憶された製造ラインの内、上記処理済み製造ラインのストッカからの搬送時間が最短となる製造ラインを求める第2のステップ、上記求められた搬送時間が最短となる製造ラインのストッカに上記次工程の製造ラインが受け入れ状態となるまで上記カセットを収納する第3のステップを含むことを特徴とするウエハ自動搬送システムにおける搬送制御方法。

F-Term (12)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031GA58 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA28 ,  5F031MA31 ,  5F031PA03