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J-GLOBAL ID：200903050967102825

静電チャックの改良型表面形状構造及びその製造方法

Inventor： アーノルド コロデンコ ,  アレキサンダー ヴエッツァー
Applicant, Patent owner： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997340479
Publication number (International publication number)：1998256360
Application date： Nov. 05, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ワークピースを保持するための新規な装置及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 装置は、ワークピース支持表面を有する静電チャックを含む。ワークピース支持表面は突出領域と非突出領域を有し、突出領域の総計表面積は非突出領域の総計表面積よりも小さい。装置は、可撓性回路を支持する表面を有するペディスタルを含む。チャックの表面形状は、可撓性回路をその表面に付着させ且つ型に従わせる前にペディスタルの表面を機械加工することにより、又は、可撓性回路内の電極の表面を彫刻することにより、形成される。

Claim (excerpt)：

ワークピースを保持する装置において、ワークピース支持表面を有する静電チャックであって、前記ワークピース支持表面が突出領域と非突出領域とを有し、前記突出領域の総計表面積が前記非突出領域の総計表面積よりも小さいものである前記静電チャックを備える装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  H02N 13/00

FI (3)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D