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J-GLOBAL ID：200903050979071348

狭帯域レーザ装置

Inventor： 溝口 計 ,  小林 諭樹夫 ,  小若 雅彦
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 橋爪 良彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993149706
Publication number (International publication number)：1994338649
Application date： May. 31, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 本発明は狭帯域レーザ装置に係わり、特には、材料加工、投影露光用等の光源に用いる狭帯域レーザ装置の波長の狭帯域化の改良を目的としている。【構成】 レーザ活性を持つレーザ媒質手段と、共振器を構成し出力を取り出す出力鏡と、および複数の光学素子からなる波長選択光学系から構成され、出力鏡と波長選択光学系によって構成される共振器内部にレーザ媒質手段を設置し、かつ、出力鏡とレーザ媒質手段間の光路長が、波長選択光学系とレーザ媒質手段間の光路長よりも小さいことを特徴とする。これにより、励起領域と波長選択光学系、即ち、狭帯域化素子(または狭帯域化光学系)の間の距離を励起領域と出力取り出し素子との素子の間の距離より大きく取ることで、狭帯域性能の向上をはかっている。これにより、表面反射による損失の増加が少なく、また、多重反射による寄生発振もないスペクトルの単色性が良い狭帯域レーザが得られる。装置サイズ、素子サイズが大型化を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

レーザ活性を持つレーザ媒質手段と、共振器を構成し出力を取り出す出力鏡と、および複数の光学素子からなる波長選択光学系から構成され、出力鏡と波長選択光学系によって構成される共振器内部にレーザ媒質手段を設置し、かつ、出力鏡とレーザ媒質手段間の光路長が、波長選択光学系とレーザ媒質手段間の光路長よりも小さいことを特徴とする狭帯域レーザ装置。

IPC (3)：

H01S 3/105 ,  H01S 3/081 ,  H01S 3/1055