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J-GLOBAL ID:200903050980320297

圧力センサ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中林 幹雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991345394
Publication number (International publication number):1993172671
Application date: Dec. 26, 1991
Publication date: Jul. 09, 1993
Summary:
【要約】【目的】 検出精度を高めることができる圧力センサを提供する。【構成】 ボディ5の内部空所に外部と連通するとともに、所定の距離となっているリード電極7を突設し、該リード電極7間に圧力の検出部1を取付け、前記空所内部にオイル2を充填するとともに、ステンレスダイアフラム4で閉塞してある。前記圧力の検出部1は、端部が前記リード電極7に取付けられるフリキシブルサーキット3からなる導電支持部6と、この導電支持部6にボンディングワイヤ18を介して接続される圧力センサ素子11とから構成されている。
Claim (excerpt):
ボディの内部空所に外部と導通するとともに、所定の距離となっているリード電極を突設し、該リード電極間に圧力の検出部を取付け、前記空所内部にオイルを充填するとともに、ボディの開口部をステンレスダイアフラムで閉塞することを特徴とする圧力センサ。

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