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J-GLOBAL ID：200903050989294752

マイクロレンズアレイの製造方法

Inventor： 伊勢田 徹 ,  清水 智之 ,  玉村 亮
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991339981
Publication number (International publication number)：1993150102
Application date： Nov. 29, 1991
Publication date： Jun. 18, 1993
Summary：

【要約】【目的】レンズ間隔に比べて十分大きい開口径を有し、かつ収差の小さいマイクロレンズアレイを提供する。【構成】平板表面に形成したマスク層に、作製するレンズの個数と同数の円形微細開口を作製するレンズの位置に対応してマスク層に設け、該開口部を通して平板表面を部分的に化学エッチングした後、マスク層を取除き、更に化学的エッチングを施すことにより母型を作製し、該母型からマイクロレンズアレイ成形のための金型を得る。

Claim (excerpt)：

金型のもとになる母型の表面のレンズ形状を化学的エッチング法により形成する金型成形法によるマイクロレンズアレイの製造方法において、(1)母型となる平板表面に化学的エッチングを妨げるマスク層を形成し、(2)作製するレンズの個数と同数の円形の微細な開口部を作製するレンズの位置に対応して前記マスク層に設け、(3)該開口部を通してその平板表面を部分的に化学エッチングし、(4)次にマスク層を取除き、(5)更に化学的エッチングを施すことにより母型を作製することを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。