Pat

J-GLOBAL ID：200903051031488418

カラー矩形波格子投影によるリアルタイム形状変形計測方法

Inventor： 藤垣 元治 ,  森本 吉春
Applicant, Patent owner： 和歌山大学長
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000279457
Publication number (International publication number)：2002090126
Application date： Sep. 14, 2000
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 リアルタイムで位相接続が可能な形状変形計測方法を提供する。【解決手段】 試料に投影する1ピッチを明暗比1:2または1:1に分けた互いにピッチおよび色が異なる複数の矩形波状の格子の位相を連続的にシフトしながら、1周期の位相シフトごとに3つまたは4つの格子画像を順次取得して各格子に関するそれぞれ対応する第1〜第3または第1〜第4フレームメモリに更新しながら格納し、これら各格子に関する第1〜第3または第1〜第4フレームメモリに格納された各画像の対応する画素の輝度値に基づいて、予め演算して求めた位相値に対応する輝度値を格納する各格子に関する3次元位相算出テーブルから対応する位相値の輝度値を画素ごとに各格子に関して読み出して、各格子に関する位相値の輝度値を位相接続し、前記試料の位相分布画像を各格子に関してリアルタイムで得る。

Claim (excerpt)：

試料に投影する1ピッチを明暗比1:2に分けた矩形波状の格子の位相を連続的にシフトしながら、1周期の位相シフトごとに3つの格子画像を順次取得してそれぞれ対応する第1〜第3フレームメモリに更新しながら格納し、これら第1〜第3フレームメモリに格納された各画像の対応する画素の輝度値に基づいて、予め演算して求めた位相値に対応する輝度値を格納する3次元位相算出テーブルから対応する位相値の輝度値を画素ごとに読み出して、前記試料の位相分布画像をリアルタイムで得ることを特徴とするリアルタイム形状変形計測方法。

FI (2)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 K

F-Term (14)：

2F065AA53 ,  2F065AA65 ,  2F065BB15 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065GG23 ,  2F065HH06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM14 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ24