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J-GLOBAL ID：200903051036021852
感光性転写シート及びレジストパターン形成方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
柳川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992213462
Publication number (International publication number)：1994035200
Application date： Jul. 17, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：
【要約】【目的】 感光性樹脂層を有する感光性転写シートと感光性樹脂層を転写すべき支持体とを貼り合わせた積層物から、仮支持体を剥離する際に塵埃等が感光性樹脂層の上に付着することの無い感光性転写シートを提供する。【構成】 合成樹脂製の仮支持体上に、バリヤー性剥離層又は剥離層及びバリヤー層、並びにアルカリ現像型の感光性樹脂層がこの順で積層されてなる感光性転写シートに於いて、仮支持体が1013Ω/□以下の表面電気抵抗値を有する感光性転写シート。この感光性転写シートを使用して支持体上にその感光性樹脂層を転写しレジストパターンを形成する方法。
Claim (excerpt)：
合成樹脂製の仮支持体上に、バリヤー性剥離層又は剥離層及びバリヤー層、並びにアルカリ現像型の感光性樹脂層がこの順で積層されてなる感光性転写シートに於いて、仮支持体が1013Ω/□以下の表面電気抵抗値を有することを特徴とする感光性転写シート。
IPC (6)：
G03F 7/11
, C23F 1/00 102
, G03F 7/004 512
, G03F 7/26 521
, H01L 21/027
, H05K 3/06
Cited by examiner (11)
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