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J-GLOBAL ID：200903051047039494

化学気相析出法による鉄ケイ化物の製造方法

Inventor： 向田 雅一 ,  角田 達朗 ,  今井 庸二
Applicant, Patent owner： 工業技術院長
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999308032
Publication number (International publication number)：2001131747
Application date： Oct. 29, 1999
Publication date： May. 15, 2001
Summary：

【要約】【課題】 長時間におよぶ煩雑な工程を必要とせず、短時間で所望の膜厚を有する高純度のβ-FeSi2を得ることのできる製造方法を提供する。【解決手段】 化学蒸着法において、原料として鉄源を供給し、次いでケイ素源を供給する工程を1工程として、この工程を2回以上繰り返して行う方法であって、各工程の原料供給における、鉄原子に対するケイ素原子のモル比を0.5以上1.5未満とするβ-FeSi2の多段製造方法。

Claim (excerpt)：

化学蒸着法において、原料として鉄源を供給し、次いでケイ素源を供給する工程を1工程として、この工程を2回以上繰り返して行う方法であって、各工程の原料供給における、鉄原子に対するケイ素原子のモル比を0.5以上1.5未満とすることを特徴とするβ-FeSi2の多段製造方法。

F-Term (10)：

4K030AA06 ,  4K030AA11 ,  4K030AA17 ,  4K030BA07 ,  4K030BA48 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030JA06 ,  4K030JA11 ,  4K030LA01