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J-GLOBAL ID：200903051050519570

ポリシラザンからのセラミックス製造方法

Inventor： 横山 泰晴 ,  前島 次男 ,  太田 俊明
Applicant, Patent owner： 東燃株式会社
Agent (1)： 久保田 耕平 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992111655
Publication number (International publication number)：1993306173
Application date： Apr. 30, 1992
Publication date： Nov. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ポリシラザンをより低温かつ短時間にセラミックス化すること。【構成】 ポリシラザンを、酸素を含む原子団の活性種に作用させてセラミックス化してケイ素-窒素-酸素を含有するセラミックスを得る。酸素を含む原子団の活性種の発生は、例えば、グロー放電による。

Claim (excerpt)：

ポリシラザンに、酸素を含む原子団の活性種を作用させてセラミックス化することを特徴とするポリシラザンからのセラミックス製造方法。

IPC (2)：

C04B 35/58 102 ,  C04B 35/58 301