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J-GLOBAL ID：200903051050736759

投影露光装置

Inventor： 西 健爾
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995232274
Publication number (International publication number)：1997082599
Application date： Sep. 11, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】 投影光学系の周囲の大気圧等の環境変化、又は露光用照明光の吸収等によって悪化する投影光学系の非線形倍率誤差、又は像面湾曲等の結像特性を補正する。【解決手段】 投影光学系PL1のレンズエレメントを石英からなるレンズエレメント25〜34,35A,38A、及び蛍石よりなるレンズエレメント36A,37Aより構成し、後者のレンズエレメント36A,37Aの温度を温度制御装置13bによって制御して結像特性を補正する。レンズエレメント36A,37Aの端部に温度センサ54B,54Aを被着し、温度センサ54B,54Aを介して計測された温度を主制御装置18に供給し、主制御装置18ではその計測された温度が所定の目標温度に達したときにウエハWへの露光動作を開始する。

Claim (excerpt)：

マスクパターンを投影光学系を介して感光基板上に投影する投影露光装置において、前記投影光学系は、互いに屈折率に関する温度特性の異なる硝材よりなる複数組の光学部材を有し、前記複数組の光学部材中の少なくとも1つの光学部材の温度を、前記投影光学系の結像特性に応じて定まる可変の目標温度に設定する温度制御手段と、該温度制御手段による制御対象の光学部材の温度が前記目標温度に対して所定の許容範囲内に収まった後に前記感光基板への露光動作を開始する露光制御手段と、を設けたことを特徴とする投影露光装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02B 27/18 ,  G03F 7/20 521

FI (5)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 27/18 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 518