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J-GLOBAL ID：200903051051230409

金属蒸着フィルムの製造方法

Inventor： 田中 善雄 ,  大島 桂典 ,  永井 逸夫
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992225939
Publication number (International publication number)：1994065712
Application date： Aug. 25, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】酸素透過率、および水蒸気透過率の優れた金属蒸着フィルムを安定して、かつ廉価に製造できる。【構成】プラスチックフィルムからなる基体の表面を、マグネトロン電極を使用し、6×10-1 パスカル以下の圧力で炭酸ガスの低温プラズマ雰囲気中で前処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けたことを特徴とする金属蒸着フィルム。

Claim (excerpt)：

プラスチックフィルムからなる基体の表面を、マグネトロン電極を使用し、6×10-1 パスカル以下の圧力で炭酸ガスの低温プラズマ雰囲気中で前処理し、該処理面に連続して金属蒸着膜を設けることを特徴とする金属蒸着フィルムの製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/02 ,  C23C 14/20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-247750
  
• 特開昭63-270455
  
• 特開平1-255661