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J-GLOBAL ID：200903051058747660
位置検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992227693
Publication number (International publication number)：1994077116
Application date： Aug. 27, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ウエハ表面が荒れている場合にも良好な位置検出精度を得ると共に、ウエハ上のマーク領域を小さくする。【構成】 ウエハW上のウエハマークを照明する第1照明系(1,2〜9)と、指標板20上の指標マークを照明する第2照明系(1,2〜28)と、ウエハマーク像を撮像素子17の撮像面上に結像する第1対物光学系(9,7〜16)と、指標マーク像をそのウエハマーク像の近傍に結像する第2対物光学系(28〜16)とを有する。主制御系100で撮像素子17の信号からウエハマークと指標マークとの位置関係を算出し、ウエハマークの像を含む領域の信号強度及び/又はその第1照明系の照明光の強度に基づいて、その位置関係の補正を行う。
Claim (excerpt)：
固定部材上に移動自在に支持された基板上の第1マークと前記固定部材に対して固定された指標板上の第2マークとの位置関係より前記基板の位置検出を行う装置において、前記基板上の前記第1マークを含む領域を照明する第1照明系と、前記指標板上の前記第2マークを照明する第2照明系と、前記第1マークの像を所定の検出面上に結像する第1対物光学系と、前記第2マークの像を前記所定の検出面上の前記第1マークの像の近傍に結像する第2対物光学系と、前記所定の検出面上に撮像面が配置された撮像手段と、該撮像手段の撮像信号より前記第1マークと前記第2マークとの位置関係を算出する位置関係演算手段と、前記撮像手段の撮像信号の内の前記第1マークの像を含む領域の信号強度及び前記第1照明系の照明光の強度の内の少なくとも一方のデータに基づいて前記位置関係演算手段により算出された前記第1マークと前記第2マークとの位置関係を補正する補正手段とを有する事を特徴とする位置検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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