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J-GLOBAL ID:200903051117348678
3族窒化物半導体発光素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
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Agent (1):
藤谷 修
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994106060
Publication number (International publication number):1995297447
Application date: Apr. 20, 1994
Publication date: Nov. 10, 1995
Summary:
【要約】【目的】AlGaInN の半導体を用いた発光素子の発光強度を向上させること、より純青色に近いスペクトルを得ることである。【構成】サファイア基板1上に500 ÅのAlN のバッファ層2が形成され、その上には、順に、膜厚約2.0 μm、電子濃度2 ×1018/cm3のシリコンドープGaN から成る高キャリア濃度n+ 層3、膜厚約2.0 μm、電子濃度 2×1018/cm3のシリコンドープの(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2N から成る高キャリア濃度n+ 層4、膜厚約0.5 μm、亜鉛及びマグネシウムドープの(Alx1Ga1-x1)y1In1-y1N から成る発光層5、膜厚約1.0 μm、ホール濃度2 ×1017/cm3のマグネシウムドープの(Alx2Ga1-x2)y2In1-y2N から成るp層6が形成されている。p層6、高キャリア濃度n+層4に接続するニッケルで形成された電極7と電極8が形成されている。電極7と電極8とは、溝9により電気的に絶縁分離されている。
Claim (excerpt):
3族窒化物半導体(AlxGaYIn1-X-YN;X=0,Y=0,X=Y=0 を含む) を用いて、n伝導型を示すn層と、p伝導型を示すp層と、その間に介在する発光層がモノ接合、シングルヘテロ接合、又は、ダブルヘテロ接合で形成された3層構造を有する発光素子において、前記発光層には、マグネシウ(Mg)と亜鉛(Zn)が不純物として添加されていることを特徴とする発光素子。
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