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J-GLOBAL ID：200903051124534983

パターン検査装置

Inventor： 矢島 裕介 ,  品田 博之 ,  野副 真理 ,  村越 久弥 ,  ▲高▼藤 敦子 ,  牧野 浩士 ,  梅村 馨 ,  長谷川 正樹 ,  嶋瀬 朗 ,  久邇 朝宏 ,  宍戸 千絵 ,  高木 裕治
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998057719
Publication number (International publication number)：1999260302
Application date： Mar. 10, 1998
Publication date： Sep. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】ステージ連続移動方式のSEM式パターン検査を高速かつ正確に行う。【解決手段】複数(N)のSEM部1を連続移動方向と垂直な方向(送り方向)に等間隔(d)に配し、連続移動の間で行うステージ8送りの幅(s)をs=N(N-1)d/(Nk-1)(kは自然数)に規定する。

Claim (excerpt)：

ビーム発生装置と該ビームを一方向に走査するビーム走査装置とビーム収束装置と信号検出装置とからなるビーム部、試料を設置可能なステージと上記ステージを上記ステージ面内で移動させるステージ移動装置と上記ステージ移動装置を制御して上記ステージにステージ面内で上記ビームの走査方向と垂直な方向(連続移動方向と称する)の始点から終点に一定速度で移動させる動作と終点到着後に上記連続移動方向と垂直な方向(送り方向と称する)に一定量(送り量と称しこれをsとする)送りつつ上記始点に戻す動作とを繰り返し行わせるステージ制御装置とからなるステージ部、上記ステージが上記連続移動方向に移動中の上記信号検出装置からの信号よりその領域の走査像を生成する画像生成部、上記走査像を利用して所望のパターン検査など一連のデータ処理を行う画像解析部、これらの動作を行うべく装置全体を制御するシステム制御部から構成されたパターン検査装置において、N組の上記ビーム部が、その送り方向の間隔が一定値(dとする)となるように設置されており、かつ上記ステージ制御装置が上記ステージを送り量sがs=N(N-1)d/(Nk-1)(kは自然数)となるように制御する機能を備え、かつ上記画像生成装置が、上記ステージが連続移動方向に移動中の二次電子の信号の内、それぞれの上記ビーム部で受け持つ検査領域幅s/Nの分だけの信号からその領域の走査像を生成する機能を備えたことを特徴とするパターン検査装置。

IPC (6)：

H01J 37/22 502 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (6)：

H01J 37/22 502 A ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/20 D ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V