Pat
J-GLOBAL ID:200903051133312330

オーミック電極

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉浦 正知
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993021983
Publication number (International publication number):1994216367
Application date: Jan. 14, 1993
Publication date: Aug. 05, 1994
Summary:
【要約】【目的】 半導体に対する接触抵抗と密着性との両方に優れたオーミック電極を実現する。【構成】 それぞれ半導体1に接触する接触抵抗の低いオーミック電極材料から成る第1の電極部2aと密着性の良好なオーミック電極材料から成る第2の電極部2bとによりオーミック電極2を形成する。
Claim (excerpt):
それぞれ半導体に接触する第1の材料から成る第1の電極部と第2の材料から成る第2の電極部とを有し、上記第1の材料の上記半導体に対する接触抵抗は上記第2の材料の上記半導体に対する接触抵抗よりも低く、上記第2の材料の上記半導体に対する密着性は上記第1の材料の上記半導体に対する密着性よりも良好であることを特徴とするオーミック電極。
IPC (2):
H01L 29/46 ,  H01S 3/18
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
  • 特開昭57-028359

Return to Previous Page