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J-GLOBAL ID：200903051142393939

固体表面の清浄化方法及び装置

Inventor： 藤井 敏昭 ,  奥山 喜久夫 ,  島田 学
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 吉嶺 桂 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997208412
Publication number (International publication number)：1998180209
Application date： Jul. 18, 1997
Publication date： Jul. 07, 1998
Summary：

【要約】【課題】 表面が敏感な基板上の付着微粒子を効果的に除去できる固体表面の清浄化方法と装置を提供する。【解決手段】 微粒子2が付着した固体表面1を清浄化する装置4において、前記固体表面の付着微粒子に電荷を与えるためのイオン発生器3、4、5と、該固体表面を負極又は正極に設定するための電場設定用電極5、6と、付着微粒子を剥離するための超音波7及び/又は気流発生源とを有することとしたものであり、前記イオン発生器又は、剥離した微粒子の捕集部は、光電子放出材3と、該光電子放出材に紫外線4及び/又は放射線を照射する照射源とを有する光電子発生装置か、又は放電イオン発生器であるか又は更に、電極6を有して微粒子荷電・捕集部とすることができる。

Claim (excerpt)：

微粒子が付着した固体表面を清浄化する方法において、前記固体表面にイオンを供給して該表面上の付着微粒子に電荷を与えた後、該微粒子を電場の形成下で超音波及び/又は気流を伝搬させて剥離することを特徴とする固体表面の清浄化方法。

IPC (4)：

B08B 6/00 ,  B03C 3/38 ,  B03C 3/43 ,  H05F 3/06

FI (4)：

B08B 6/00 ,  B03C 3/38 ,  B03C 3/43 ,  H05F 3/06