感放射線性樹脂組成物

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：福沢俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996316888
Publication number (International publication number)：1998142800
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】解像度、パターン形状、PEDに対する耐性、プロセス安定性等が優れるとともに、定在波の影響が少なく、かつ高度の耐熱性を有する化学増幅型ポジ型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する構造を有する繰返し単位(I)と、分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(II) とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶性となる共重合体、および(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有する。

Claim (excerpt)：

(A)酸の作用により分解し、アルカリ現像液に対する溶解性が増大する構造を有する繰返し単位(I)と、分子中に2個以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物の炭素-炭素二重結合が開裂して得られる繰返し単位(II) とを含有し、酸の作用によりアルカリ現像液に可溶性となる共重合体、および(B)放射線の照射により酸を発生する感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/039 601 , G03F 7/004 503 A , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

感光性組成物及び画像形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-049012 Applicant：コニカ株式会社
特開平3-241355

Return to Previous Page