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J-GLOBAL ID：200903051182604720

研磨用組成物

Inventor： 児玉 一志 ,  岩沙 昭二
Applicant, Patent owner： 株式会社フジミインコーポレーテッド
Agent (1)： 佐々木 宗治 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993103059
Publication number (International publication number)：1994313164
Application date： Apr. 28, 1993
Publication date： Nov. 08, 1994
Summary：

【要約】【目的】 タングステン等の金属材料にも適用可能で金属材料の研磨速度を高め、かつ表面欠陥を生じさせない研磨用組成物であり、かつ上述のシリコン基板上に形成された各種の配線金属パタ-ンの平坦化に用いられ得る優れた研磨用組成物を提供することを目的とする。【構成】 水性コロイダルシリカゾル又はゲルの研磨剤と過硫酸アンモニウム、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウムから選ばれた1種である過硫酸塩又は過硫酸塩の1種と過酸化水素の研磨促進剤からなる研磨用組成物である。

Claim (excerpt)：

水性コロイダルシリカゾル又はゲルの研磨剤と過硫酸塩の研磨促進剤からなることを特徴とする研磨用組成物。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-087147
  
• 特公昭53-044273
  
• 特開昭64-087147
  
• 特公昭53-044273