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J-GLOBAL ID：200903051199609555

露光装置用光学系および露光装置

Inventor： 小沢 治夫 ,  村山 正幸
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998337591
Publication number (International publication number)：1999233437
Application date： Nov. 27, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 筐体内をガス置換時間を短縮することができ、また、簡単に置換作業を行うことができる露光装置用光学系の提供。【解決手段】 筐体41に複数の独立した部屋42a〜42gを形成するとともに、部屋42a〜42gの各々に蓋44a〜44gと、配管L1a〜L1hと、配管L2a〜L2gと、バルブ45a〜45g,46a〜46gと、酸素濃度センサ47a〜47gの値に応じて開閉するバルブ48a〜48gとを設け、ビーム整形レンズ2,ミラー3,ビームエキスパンダーレンズ4,ミラー5,フライアイレンズ6,第1リレーレンズ7とレチクルブラインド8と第2リレーレンズ9との一群,ミラー10とメインコンデンサレンズ11との一群とに分けられた7つの光学部品群毎に、筐体41の異なる部屋42a〜42gに収納した。

Claim (excerpt)：

複数の光学部品群を筐体に収納した露光装置用光学系において、前記筐体に複数の部屋を形成し、前記光学部品群を前記筐体の異なる部屋に各々収納するとともに、前記各部屋のガスをそれぞれ置換するガス置換手段を設けたことを特徴とする露光装置用光学系。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3)：

H01L 21/30 515 D ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 F