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J-GLOBAL ID：200903051276497072

冷凍装置

Inventor： 及川 好幸 ,  遠藤 豊
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993001136
Publication number (International publication number)：1994201203
Application date： Jan. 07, 1993
Publication date： Jul. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 冷凍サイクルを用いた冷凍装置において、膨張弁の微少流量用絞り部にゴミや不純物がたい積することを防止し、冷却能力の安定化をはかる。【構成】 温度センサー32、42により、微小能力用冷却コイル31、41の表面温度或いは冷却コイル31、41を通過した気体の温度を測定し、温度センサー32、42の出力が一定になるように、コントローラ8が微少流量用膨張弁2、3の絞り開度を調整するモーター4、5を制御する。

Claim (excerpt)：

冷凍機から出た後再び冷凍機に入いるまでの冷媒の流路を複数系統に分岐することにより、冷凍機を兼用した複数の冷凍サイクルを構成し、前記複数の冷凍サイクルの各々に設けた膨張弁の少なくとも一つを微少流量用膨張弁とすると共に、前記微少流量用膨張弁と共働する冷却コイルを微小能力用冷却コイルとなし、前記複数の冷凍サイクルの各々に設けた冷却コイルに気体を通過させることにより、前記気体を冷却する冷凍装置において、前記微少流量用膨張弁の絞り開度を調節する電動駆動手段と、前記微小能力用冷却コイルの表面温度、或いは前記コイルを通過した気体の温度を検知する温度センサーと、前記温度センサーの検知した温度が所定の値になるように、前記電動駆動手段を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする冷凍装置。

IPC (2)：

F25B 5/02 520 ,  F25B 1/00 304