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J-GLOBAL ID：200903051290040239

ファンフィルタユニット

Inventor： 坂井 高正 ,  野田 憲治 ,  岩本 庄治
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000255819
Publication number (International publication number)：2002066235
Application date： Aug. 25, 2000
Publication date： Mar. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】 薄肉で強度の高いプレフィルタを形成することで、ファンフィルタユニットの小型化を図ることができる。【解決手段】ファンフィルタユニット41は第1のフィルタ部51、ファン52、第2のフィルタ部53により構成される。第2のフィルタ部53のプレフィルタ58は、そのフィルタエレメント583がフォトリソ法にて多数の微細な孔583aが製造され、フィルタ本体581の周縁には、フィルタ本体581を折り曲げ立設し形成された補強部582を有し構成される。よって、プレフィルタ58は、薄肉であっても補強部582により充分な剛性を有し、良好な整流作用を維持することができる。

Claim (excerpt)：

空間内部の清浄度を制御するためのファンフィルタユニットであって、外気を内部に取り入れるための上流側開口部と排出するための下流側開口部をもつ枠体と、前記上流側開口部に外気を吸引する吸引手段と、前記吸引手段の少なくとも一方面側に位置するように前記枠体内に支持され、平面部に多数の微細な孔を開けた金属薄板製のプレフィルタと、前記プレフィルタを流通する気流の下流側に収納して、前記枠体によって支持されるメインフィルタと、を具備することを特徴とするファンフィルタユニット。

IPC (6)：

B01D 46/00 ,  B01D 39/14 ,  B01D 39/20 ,  F24F 7/00 ,  F24F 7/06 ,  B01J 20/20

FI (7)：

B01D 46/00 F ,  B01D 39/14 P ,  B01D 39/20 A ,  F24F 7/00 A ,  F24F 7/06 C ,  B01J 20/20 D ,  B01J 20/20 F

F-Term (32)：

3L058BG03 ,  4D019AA01 ,  4D019BA02 ,  4D019BB02 ,  4D019BB09 ,  4D019BC05 ,  4D019BD01 ,  4D019CA01 ,  4D019CA02 ,  4D019CB03 ,  4D019CB06 ,  4D058JA12 ,  4D058JA14 ,  4D058JB03 ,  4D058KB11 ,  4D058QA01 ,  4D058QA03 ,  4D058QA11 ,  4D058QA21 ,  4D058SA04 ,  4D058TA02 ,  4G066AA04C ,  4G066AA50B ,  4G066AE01B ,  4G066BA07 ,  4G066BA16 ,  4G066CA08 ,  4G066CA27 ,  4G066CA29 ,  4G066DA03 ,  4G066FA15 ,  4G066FA25