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J-GLOBAL ID：200903051304387814
プラズマ装置へのマイクロ波導入装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993270104
Publication number (International publication number)：1995122396
Application date： Oct. 28, 1993
Publication date： May. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】 複数のマイクロ波電源からのマイクロ波によってプラズマ装置内に大口径で均一なプラズマを発生させるマイクロ波導入装置を提供する。【構成】 マイクロ波の進行方向に設けられた複数のスロットアンテナ5,6,7の開口面積をマイクロ波進行方向に徐々に変化させることによって,真空容器3内へのマイクロ波導入の均等化とマイクロ波導入量分布の制御とを図る。開口面積をマイクロ波進行方向に変化させることにより,各スロットアンテナ5,6,7からのマイクロ波放射量が均等化又は調節ができ,これによって発生するプラズマの密度分布の均一化又は制御がなされる。
Claim (excerpt)：
マイクロ波電源と接続された複数の導波管を真空容器に設けられたマイクロ波導入窓の部分で接続し,上記マイクロ波電源から各導波管を経て伝播するマイクロ波を上記マイクロ波導入窓部分の各導波管に形成された複数のスロットアンテナから上記真空容器内に導入するプラズマ装置へのマイクロ波導入装置において,上記複数のスロットアンテナの開口面積を,上記マイクロ波の進行方向上流側から下流側に向けて徐々に変化させたことを特徴とするプラズマ装置へのマイクロ波導入装置。
IPC (3)：
H05H 1/46
, C23C 16/50
, H01L 21/205
