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J-GLOBAL ID：200903051305140502

ウェーハ貫通バイア接続を有する容量性ミクロ機械加工超音波振動子素子のアレー

Inventor： クーリ-ヤクブ バトラス ティー ,  ディガーテキン エフ レヴァント ,  カームズ サム ,  ジン シューチェン
Applicant, Patent owner： ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ
Agent (1)： 中村 稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2001526303
Publication number (International publication number)：2003527947
Application date： Sep. 29, 2000
Publication date： Sep. 24, 2003
Summary：

【要約】ウェーハ(14)の一方の表面上に形成される、薄膜(26)を備えた複数のセルを含む振動子素子を有するcMUTが記述される。間隔を空けて置かれた前記電極間に印加される電圧は、前記薄膜を駆動する。前記電極に印加されたこの電圧は、前記ウェーハ(14)の反対側の表面からこのウェーハを通って、更にこのウェーハに形成されたバイア(16)を通って印加される。

Claim (excerpt)：

ウェーハの一方の表面上に形成され、薄膜とその薄膜に重なる金属層を備えた第1の電極とを有する振動子セルを含む、複数のcMUT(容量性ミクロ機械加工超音波振動子)素子と、 前記第1電極から間隔を空けて置かれた第2の電極と、 前記ウェーハの反対側の表面から前記電極の一方に接続するために前記ウェーハを通って延びるバイアと、 前記ウェーハを通って電極の他方に接続する手段と、 を含むことを特徴とする超音波振動子アレー。

F-Term (2)：

5D107AA13 ,  5D107CC20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-103881
  
• 超音波診断装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-119561   Applicant：オリンパス光学工業株式会社