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J-GLOBAL ID：200903051332288147

超音波顕微鏡の微動制御回路

Inventor： 木村 敏宏 ,  中島 雅泰 ,  湯浅 和博 ,  大竹 寛
Applicant, Patent owner： 日立建機株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992030063
Publication number (International publication number)：1993196609
Application date： Jan. 21, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：

【要約】【目的】D/A変換器に関する制約の下でも、より広い微動移動の範囲を制御することができる超音波顕微鏡の微動制御回路を実現する。【構成】20ビットの微動移動信号EEとカウンタ90からの位置検出信号FFとを減算器130が受け、さらにその出力をリミッタ131で12ビットに制限することにより、従来と同一のD/A変換器10を使用しながらも、従来より広い微動移動の範囲を制御することができる。

Claim (excerpt)：

超音波センサと試料との位置関係を決める粗動移動機構とこの粗動移動機構と同じ平面において前記粗動に対して微動で移動し、前記超音波センサと前記試料とを相対的に移動させ、かつ、前記超音波センサにより前記試料を走査する移動動作を行う微動移動機構とを有する超音波顕微鏡の微動制御回路において、前記粗動移動機構の粗動移動位置からの前記微動移動機構の実際の微動移動位置を位置検出用エンコーダからのパルスのカウント値として保持するカウンタと、前記走査の走査中心点となるべき微動移動位置を設定するデジタル値と前記カウンタのカウント値との差をデジタル値で出力する減算器と、この減算器からの出力値を所定の範囲内に制限してデジタル値で出力するリミット手段と、前記リミット手段からの出力値をデジタルアナログ変換する第1のD/A変換器と、前記走査中心点を中心として繰り返し走査を行うべき微動走査範囲を設定するデジタル値をデジタルアナログ変換する第2のD/A変換器と、を備え、第1のD/A変換器からの出力と第2のD/A変換器からの出力とが一致する方向に前記微動移動機構を駆動するものであって、前記所定の範囲が第1のD/A変換器の最大変換値以下に設定されていることを特徴とする超音波顕微鏡の微動制御回路。

IPC (2)：

G01N 29/26 502 ,  G01N 29/20 501